STARlightSD (1) 썸네일형 리스트형 KLA-Tencor, 새로운 Teron™ SL650 레티클 검사 시스템 발표[아이씨엔] KLA-Tencor Corporation이 20nm 이하의 설계 노드를 지원하는 IC 반도체 공장용의 새로운 레티클 품질 제어 솔루션인 Teron™ SL650을 발표했다. Teron SL650은 193nm 조명 기술과 다양한 STARlight™ 옵틱 기술을 기반으로 입고되는 레티클의 품질을 평가 및 레티클 변형을 모니터링하고, 패턴이 형성된 부분과 개방부의 헤이즈(haze) 증가 또는 오염과 같은 수율에 영향을 주는 불량을 감지하는 데 요구되는 감도와 유연성을 제공한다. 또한 업계 최고 수준을 자랑하는 Teron SL650의 생산 처리량은 어드밴스트 멀티패터닝(advanced multi-patterning) 기법과 관련하여 많은 수의 레티클을 검증하는 데 필요한 빠른 사이클 타임을 지원한다. Teron .. 이전 1 다음
